洁净管道安装主要用于电子、半导体、航天及食品工程中。施工主要部位包括焊口、设备接口、仪表接口等。洁净管道的特殊施工方法分两类：类是对于单层抛光不锈钢管道利用自动切割机下料，利用电动铣刀铣去毛刺，自动焊机焊接，设备连接处利用卡套接头或VCR接头连接。第二类是对于夹套管施工采用双层夹套管施工达到工艺严密性的要求。上述特殊施工方法与以往常规施工方法具有如下的优点。
常用高纯气体管道应根据所输送的不同的气体和用途选用不同品种的奥氏 体不锈钢管，尽量不用铜材质造的管道，按纯度要求≥99.9999 应采用不锈钢 管?！?9.99 宜采用不锈钢管。＜99.99 可用无缝钢管。气体终端纯化装置入 口侧的高纯气体管道一般选用 0Cr18Ni9，0Cr19Ni10 有缝或无缝不锈钢管，但 对于不经过气体终端纯化处理而直接通往用气点的高纯气体管道宜采用无缝 不锈钢管。气体终端纯化装置出口侧的超纯气体管道及掺杂气体的管道一般选 用 0Cr17Ni11M02，1Cr18Ni11Nb 无缝不锈钢管道。接至工艺设备的管道应选用 不锈钢管或不锈钢波纹管道。不能使用聚四氟乙烯管或其他软管。
洁净气体管道中所有高纯度、高洁净的气体均需通过管道输送给仪器用点，因此，则更需重视配管系统的材料选用和施工质量。否则，稍有不慎，便可能降低输送气体质量(包括纯度、干燥度、洁净度),，从而使用气工艺可能损失有价值的产品，甚至造成严重的灾难。不同于一般的工业管道，实验室高纯气体集中供气系统中洁净气体管道的施工，要求施工人员严格遵守设计中的规定及施工技术要求，在施工作业中严肃认真、一丝不苟。
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